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什么是無(wú)塵潔凈棚?
潔凈棚是為*快速方便建立的一座簡(jiǎn)易潔凈室,潔凈棚具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此其簡(jiǎn)便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn)。
潔凈棚潔凈度
美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室*大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。
無(wú)塵室清潔度的定義:
塵粒數(shù)/立方英
級(jí)數(shù) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700
■潔凈棚特點(diǎn):
1、采用采用工業(yè)鋁型材或不銹鋼方通和鐵方通多層酸洗靜電噴塑作為框架,抗腐蝕、防銹、美觀大方。。
2、防靜電垂簾:0.3mm厚網(wǎng)格、柔韌度好、不變形、不易老化。
3、潔凈室頂蓋板采用準(zhǔn)軋鋼板靜電噴塑或全不銹鋼。
4、潔凈棚內(nèi)部采用凈化室專(zhuān)用凈化燈,不產(chǎn)塵。
5、風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU:采用離心風(fēng)機(jī),具有長(zhǎng)壽命、低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小、配初效過(guò)濾器和高效空氣過(guò)濾器。
6、采用可調(diào)風(fēng)量系統(tǒng),保證工作區(qū)風(fēng)速處于理想狀態(tài)。
當(dāng)然潔凈棚在凈化工程中的應(yīng)用需要潔凈棚生產(chǎn)廠家安裝配合,如在凈化工程施工中的工期控制要提前去要求及管理.
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