?隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子、醫(yī)藥、生化等行業(yè)的工藝技術(shù)突飛猛進(jìn)，產(chǎn)品日新月異。如大規(guī)模集成電路已從微米發(fā)展到納米級并批量生產(chǎn)，受控粒子尺寸要求小于0.02μm，生產(chǎn)工藝對無塵室的環(huán)境要求更嚴(yán)格。

1 無塵室的建筑結(jié)構(gòu)工程

無塵室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和施工質(zhì)量關(guān)系到無塵室裝飾、安裝和使用，因此無塵室建筑施工前應(yīng)編制施工方案，并與無塵室其他專業(yè)施工協(xié)調(diào)配合。常見的問題是地面（以下均為底層）基礎(chǔ)回填密實(shí)度、防潮層不到位，地面開裂等。

A.?確保回填土的密實(shí)度

有的工程工期緊機(jī)械回填土未分層夯實(shí)，致使設(shè)備安裝時(shí)地坪下沉開裂。因此對回填土質(zhì)量要嚴(yán)格控制，回填土施工時(shí)要進(jìn)行旁站監(jiān)理，確保回填土的密實(shí)度達(dá)到設(shè)計(jì)和規(guī)范要求。

B.新規(guī)范要求防水薄膜厚度不應(yīng)小于1mm

行標(biāo)與設(shè)計(jì)地面做法：素土夯實(shí)，夯實(shí)系數(shù)≥0.9。墊層為150厚碎石、卵石或3：7灰土，夯實(shí)后鋪設(shè)0.6 mm厚聚氯乙烯防水薄膜防潮，實(shí)踐證明0.6 mm厚防水薄膜容易破損。新規(guī)范要求灰土夯實(shí)后應(yīng)鋪設(shè)≥1mm防水薄膜，接頭處搭接50mm并用膠帶粘牢，然后鋪20厚1：3水泥砂漿保護(hù)層。如設(shè)計(jì)圖仍是0.6 mm厚防水薄膜，要求設(shè)計(jì)變更。

C.地面應(yīng)合理配置鋼筋網(wǎng)防裂

無塵室地面宜配置鋼筋網(wǎng)防裂，基層混凝土強(qiáng)度等級≥C25，混凝土厚度≥150mm。《無塵室建筑結(jié)構(gòu)》圖集選用200厚C30細(xì)石混凝土內(nèi)配￠8@150雙向鋼筋，隨打隨抹平，強(qiáng)度達(dá)標(biāo)后表面磨平。PVC地面或環(huán)氧地面施工一般不是一家，二次施工往往會(huì)為地面平整度、面層強(qiáng)度、空鼓、起砂等扯皮，所以前期建筑結(jié)構(gòu)施工把好質(zhì)量關(guān)，對無塵室的施工質(zhì)量十分重要。

2 無塵室地面施工

無塵室的裝飾材料應(yīng)滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外，還應(yīng)保證無塵室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積灰，并應(yīng)易清洗，地面必須采用耐腐蝕、耐磨和抗靜電材料。無塵室地面以粘貼PVC地板和涂布環(huán)氧材料為多，現(xiàn)澆水磨石地面已很少選用。粘貼和涂布地面正式施工前應(yīng)做小面積樣板，使粘結(jié)強(qiáng)度、耐磨性、表面電阻和觀感等技術(shù)指標(biāo)符合要求，才可正式施工，以防返工造成損失。

A.粘貼地面施工（以防靜電PVC地板為例）

（1）粘貼、涂布地面施工前應(yīng)用含水率測試儀器(CCM)對基礎(chǔ)地面進(jìn)行現(xiàn)場測試，其含水率應(yīng)在2%～4%，當(dāng)含水率在4%～7%之間，要用雙份膠粘地面材料。對含水率＞7%的基礎(chǔ)地面，必須采取加熱通風(fēng)等干燥處理。含水率大又未干燥處理的地面“掄工期”施工，其結(jié)果是地面空鼓、脫皮而返工的教訓(xùn)一定要吸取！

現(xiàn)場也可用塑料薄膜法（ASTM4263）檢測，用450 mm×450mm塑料薄膜平鋪在混凝土表面上，用膠帶紙密封四周邊16h后，塑料薄膜下出現(xiàn)水珠或混凝土表面變黑，說明混凝土過濕不宜粘貼、涂布；無水珠或濕氣存在可施工。

（2）無塵室地面粘貼的防靜電PVC板材或卷材，厚度一般選用2～3mm，厚度允許偏差＋0.18mm～－0.15mm。有的“進(jìn)口”PVC卷材是冒牌貨，進(jìn)口材料的原產(chǎn)地證明、檢測報(bào)告和報(bào)關(guān)單等復(fù)印件易造假，仔細(xì)核對矛盾不少。要與原件核查報(bào)關(guān)單編號、日期、簽章、騎縫章、到岸港口、運(yùn)輸方式、批號是否一致。

（3）防靜電PVC地板施工應(yīng)采用非水溶性導(dǎo)電膠粘貼，非水溶性導(dǎo)電膠中炭黑與膠水的配合比為1：100，膠的電阻值應(yīng)小于貼面板的表面電阻值（105～1010Ω），粘接強(qiáng)度＞3×106N/m2（3MPa）。強(qiáng)力膠、環(huán)氧樹脂等非水溶性膠氣味大，有的施工隊(duì)用水基丙烯酸脂類粘膠劑（俗稱白膠、木工膠）。丙烯酸等水溶性粘膠劑雖然施工方便，氣味小也環(huán)保，但其粘接強(qiáng)度僅0.5MPa左右，與規(guī)范要求的相差甚遠(yuǎn)。若水溶性粘膠劑的粘接強(qiáng)度達(dá)到要求，PVC地板粘貼時(shí)能否使用，值得有關(guān)部門探討。

（4）導(dǎo)電銅箔厚度不應(yīng)小于0.05mm，寬度宜為25mm，是為了有效地防止靜電積聚。有的導(dǎo)電銅箔厚度僅0.03mm，寬度僅10mm，還說是新標(biāo)準(zhǔn)，保證沒有問題等等。所以對進(jìn)場的材料要把好關(guān)，不要被忽悠。導(dǎo)電銅箔網(wǎng)間距按設(shè)計(jì)要求(一般為3000×3000mm)，面積在100 m2以上時(shí)接地端子不小于2個(gè)，每增加100 m2，應(yīng)增設(shè)接地端子2個(gè)。

（5）無塵室PVC地板施工環(huán)境溫度不應(yīng)低于10℃，相對濕度不大于80%。鋪貼時(shí)一定要壓平，不能殘留空氣，地板粘貼4小時(shí)后才可進(jìn)行接縫焊接。

B.涂布地面施工(以防靜電環(huán)氧自流平為例)

無塵室涂布地面以環(huán)氧自流平和環(huán)氧砂漿地面為多，涂布地面的基礎(chǔ)地面含水率≤7%才可施工。

（1）基層表面處理 涂布地面的基層表面應(yīng)用噴砂或無塵電磨機(jī)**地表灰砂、雜質(zhì)，磨平后用吸塵器吸除灰砂。對凹陷、空洞地面應(yīng)用環(huán)氧砂漿或環(huán)氧膩?zhàn)犹钛a(bǔ)后，才可進(jìn)行底涂施工。不少“游擊隊(duì)”分包商沒有上述施工機(jī)械，甚至對地面未吹掃、填補(bǔ)就進(jìn)行底涂，其施工質(zhì)量可想而知。所以要選擇有資質(zhì)的專業(yè)防腐施工隊(duì)，以保證無塵室涂布質(zhì)量。

（2）按2.1 (4)要求鋪設(shè)導(dǎo)電銅箔并接地。

（3）中涂施工 將環(huán)氧色漿、固化劑與適量料徑的石英砂、導(dǎo)電粉充分?jǐn)嚢瑁ㄓ袝r(shí)要熟化），以增強(qiáng)地面的耐磨及平整度。環(huán)氧拌料用鋸齒鏝刀鏝涂，然后用釘子輥來回輥壓，以排出膜內(nèi)空氣，應(yīng)在1小時(shí)內(nèi)用完。（選用上等環(huán)氧樹脂加固化劑混合均勻，靜置幾分鐘后基本無氣泡）。加砂量大一些，可采用抹光機(jī)抹光。

（4）面涂施工 在中涂層實(shí)干2～3天(20℃)固化后，刮涂填平、打磨、吸塵清潔后，面層可用鏝涂、刷涂或噴涂，使其自行流平即可。防靜電環(huán)氧自流平厚度2～3 mm，（防靜電環(huán)氧砂漿厚度4～5 mm），施工后要養(yǎng)護(hù)7天完全固化。

（5）新規(guī)范要求涂布施工環(huán)境不宜低于20℃，相對濕度應(yīng)低于85%，這是為了保證涂布質(zhì)量。高溫時(shí)環(huán)氧涂料兩組份反應(yīng)快，有時(shí)來不及流平就固化；5℃以下環(huán)氧涂料基本上不固化反應(yīng)，粘度大難以施工。